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              晶盛機電承擔的“8 英寸區熔硅單晶爐國產設備研制”通過專家驗收
              發布時間:2018-11-16 信息來源: 瀏覽次數:662


                  由浙江晶盛機電股份有限公司(以下簡稱“公司”)承擔的“8 英寸區熔硅單晶爐國產設備研制”(以下簡稱“該課題”),近日順利通過國家 02 專項驗收專家組的正式驗收。

                  該課題是由天津市環歐半導體材料技術有限公司承擔的“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(簡稱“02 專項”)“區熔硅單晶片產業化技術與國產設備研制”項目下的課題之一。 

                  專家組經過實地檢查、現場測試、資料審查、內部驗收及驗收前的現場復查等相關驗收工作后,對課題完成情況作出了總體評價意見:“課題組完成了任務合同書規定的研發內容。研制出 8 英寸區熔硅單晶爐,各項技術指標、經濟指標、知識產權指標、人才隊伍建設指標及平臺建設指標均達到任務合同書的考核要求。提供的驗收資料齊全。任務驗收專家組同意課題通過驗收?!?/span>

                  截至目前,通過該課題的實施,已在公司生產的區熔硅單晶爐上成功拉制出國內首根 8 英寸區熔硅單晶棒,驗證了公司自主研制的區熔硅單晶爐技術取得了突破性進展,相關設備獲得了 26 項國家專利,其中爐內晶體剪除機構、多 CCD成像和輔助加熱等技術為國際首創,課題產品已成功產業化并形成銷售,取得了良好的社會、經濟效益,產業化前景優勢明顯。

                  該課題的實施,有效地打破了國外大直徑區熔硅單晶爐的技術壟斷,縮小了我國區熔單晶硅材料制造技術與國際先進水平的差距,體現了公司的研發實力,有利于公司立足晶體生長與智能化加工裝備的主業,推動“新材料、新裝備”發展戰略全面實施。

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